1、前言

        在半導體設備食材技術工藝和融合用電線路加工過程中，的原食材、晶圓、電源芯片的檢測的是必切不可少的環節。現在半導體設備食材技術工藝檢測的技術工藝的成長，數值源表SMU切合電極臺的控制系統組合起來己經被大范圍運用于的原食材/細小功率功率器件的電學性狀校驗中。數值源表SMU具備著源測系統，不錯呈現感應電流-電阻值(I-V)性狀擬合曲線，是半導體設備食材技術工藝的原食材、功率功率器件電性能參數定量分析檢測的的目標；電極臺有手工、半智能和全智能八種，確定檢測的想要確定模塊化的設備可以了。在應用時想要關注電極的在材質原料各種針尖的口徑與樣式，電極在材質原料不一，其特性阻抗不一模一樣；前者，電極尖變形和空氣污染也會對檢測的然而帶來危害。

        在測試時，通過數字源表提供激勵并對測量信號進行采集。首先將電流或電壓輸入被測器件（DUT），測量該器件對此輸入信號的響應；這些信號的路徑為：源表的輸出端接入電纜，電纜和探針連接，電流或電壓信號通過探針至芯片。

圖：SMU、檢測器、DUT無線連接關心

        下文中，我們將探討數字源表SMU和探針臺的連接注意事項，以及不同材料/器件的測試應用案例。

2、數字源表SMU與探針臺的連接

        公測探針臺與源表的無線鏈接多見有兩種類型，另外一種適用的同水平線無線鏈接，另另外一種適用的三同水平線無線鏈接。當測量方法小電壓感應電流(nA、pA)時，應適用的三同軸連接模快和三同水平線纜。在是接入源表保證性高端的公測電線中，在三同軸的保證性層與內芯間是等電勢差，不老有漏電壓電引產生，就能夠改善小電壓感應電流公測高精準度。

圖：三同軸線纜半剖圖

（1導體；2隔熱；3內手機屏蔽掉層；4里頭層；5外手機屏蔽掉層；6外絕緣護套）

圖：三同中心線纜等效電路原理圖

  上圖一樣為三同中軸電力電纜等效電源電路原理，打出高檔HI和Guard之中的電位差差可以說為0，為了消去電力電纜自己本身的漏電流。

以下是使用普賽斯直流源表、脈沖源表、高壓源表、大電流源表與探針臺的接線說明：

S系列作品直流電壓源表

- 兩同軸連接 -

使用香蕉頭轉BNC母頭的轉接頭進行連接；

- 三同軸連接 -

        三同軸拼接器與平民兩芯拼接器物有所的不同，可同一時間接駁訊號、接地保護和攔截層，攔截結果好。和多芯纜線相較于，三同軸纜線構造簡單的，可以信賴高朝；和兩芯同軸纜線相較于，有著更強的攔截穩定性和小訊號的互傳能力素質。三同軸纜線的拼接具體方法使用的了GUARD訊號，起到了了攔截角色，更有益于小訊號的衡量。

P系列脈沖源表

- 兩同軸連接 -

便用杜邦線轉BNC母頭展開拼接；

- 三同軸連接 -

選用三同軸聯接信息模塊使用聯接。

E系列高壓源表

- E100(1200V) -

簡單的使用三同軸網展開連入；

- E200(2200V)/E300(3500V) -

將傳統的三同軸更新為直流電專門三同定位軸線；直流電力三同軸管插頭的擊穿電壓本事較弱，普賽斯安全使用的直流電力三同軸管插頭能夠擊穿電壓3500V。

圖：左-直流電三同軸、右-平民三同軸

HCPL 100大電流源表

大瞬時電壓電流大小精確測量時，單根探頭限制值的瞬時電壓電流大小較少，瞬時電壓電流大小過大概率會進而引發燒針跡象，不良影響檢驗結果，由此需施用多探頭串連。

圖：多測試探針串并聯示意圖

3、探針臺與器件的連接

 在不同的材料測試中可能會遇到共面電極或異面電極的材料。共面電極指陽極和陰極在同一平面；異面電極指陽極和陰極不在同一平面，常見為正反面。

圖：共面電極材料進行連接構造

圖：異面電級無線連接展示

4、測試注意事項

-探針臺接地：探針臺結構上有很多金屬，在帶電的環境下會存在很強的靜電，一般探針臺會自帶大地連接線，使用中將探針臺接大地，避免釋放靜電給測試帶來影響。一般地線分為兩類：一種是工作接地，另一種是安全性接地。工作接地是把金屬導體銅塊埋在土壤里， 再通過導線引出地面，將導線接入設備的接地端口，形成接地回路。 安全性接地是指使用探針臺金屬外殼自帶的接地線進行接地，當探針臺金屬外殼發生絕緣損壞，外殼帶電時，電流沿著其外殼自帶的接地線接入大地，以達到安全的目的。

-連接線接地：探針臺的連接線為同軸線，兩根同軸線的內芯是信號線，從而導致兩根同軸線的外屏蔽層懸空，未起到屏蔽的作用，在磁場環境復雜的情況下會對測試產生較大的干擾。因此，為了獲得較好的測試效果，需要將同軸線纜的外屏蔽層接入工作地線。

-關閉光源：很多器件和材料對光源敏感，測試中如果不關閉光源會影響測試結果，所以測試時盡量在無光源影響的環境中進行。

-小電流測試時加屏蔽罩：如果測試電流為pA級別，需要給探針臺增加屏蔽罩。

-異面電極材料連接：異面電極材料連接時通常會使用探針臺Chuck盤做電極，但是Chuck盤的平整度會對材料的接觸面有影響，那么此時就需要使用引電極。